10萬級無塵車間空氣凈化系統(tǒng)的清潔和維保一般由設(shè)備工程部和操作人員全面負(fù)責(zé)，需要制訂出清潔和維保計劃以及實施方法，并按計劃實施清潔和維保。
送風(fēng)口、回風(fēng)口應(yīng)進(jìn)行日常清潔
除例行的清潔與維保之外，根據(jù)空氣監(jiān)測結(jié)果或突發(fā)性異常情況的發(fā)生，必要時應(yīng)進(jìn)行臨時性的清潔與維保。
空調(diào)機(jī)組及機(jī)組用管道無滴、冒、跑、漏現(xiàn)象。
空調(diào)機(jī)組內(nèi)設(shè)備半個月檢查一次傳動三角帶，每星期檢查臭氧發(fā)生器，半年1次風(fēng)機(jī)加耐高溫潤滑油。
空調(diào)機(jī)組每隔一年檢修一次，每隔二年大修一次，并做好除銹處理及油漆。
其它設(shè)備、附件（靜壓箱、風(fēng)閥、蒸汽管道、冷凍冷凝水管閥門及冷卻除污器及有關(guān)的電器設(shè)備等）的維護(hù)保養(yǎng)。
靜壓箱
用光照檢查是否有漏點。
靜壓箱定位，拉緊線材是否完好。
每2年油漆一次。
風(fēng)閥
每年拉動風(fēng)閥，調(diào)節(jié)手柄，使其達(dá)到開或關(guān)靈活，當(dāng)調(diào)節(jié)風(fēng)閥時，應(yīng)慢慢打開或關(guān)小開啟度。
每2年對風(fēng)管燈檢漏一次。
風(fēng)管每處對其內(nèi)部清洗，除污處理，具體步驟：拆除主風(fēng)管，用酒精和飲用水清洗，小風(fēng)管小彎處拆除，用洗滌劑和飲用水清洗，完畢后用干絲巾擦干，風(fēng)管安裝以后應(yīng)檢漏。
每年對風(fēng)管定位材料檢查有無移位，松動及除銹，油漆。
保溫材料及層外包裹每年檢查一次，有無破損、松散。
空調(diào)用蒸汽管道和冷水、冷卻水管道、閥門。
管道及法蘭口每年檢查一次是否漏水。
閥門連接使用過程中應(yīng)經(jīng)常檢查。