風(fēng)壓測試儀器：主要用于測定潔凈室之間和潔凈與非潔凈區(qū)之間微壓差，也可利用壓差法測量風(fēng)速，計算風(fēng)量。
1、液體壓力計：液體壓力計具有使用方便、價格低廉、度較高、制造安裝方便等優(yōu)點，但有測量范圍受限制、玻璃管易碎等缺點。
常用的工作液體有：酒精、水、水銀等，在潔凈室測量中主要是酒精和水。
液體壓力計主要有：U型管壓力計、斜管壓力計、補償式壓力計。
2、彈簧壓力計：彈簧壓力計是根據(jù)彈簧元件在所測壓力作用下發(fā)生變形，其變形量與所測壓力成函數(shù)關(guān)系這一原理制成的，其優(yōu)點是構(gòu)造簡單、便于攜帶、安裝方便、價格低廉。
常用的彈簧壓力計主要有：彈簧管壓力計、膜片管壓力計和膜核壓力計。
3、電學(xué)壓力計：電學(xué)壓力計是利用壓電原理或高壓下電阻變化等電學(xué)方法來測定壓力的壓力計，適用于測量變化極快、數(shù)值很高或近乎真空時的壓力。